Sistem Relau PECVD
Produk ini ialah sistem PECVD terbuka slaid bersaiz sederhana. Sistem Relau Tiub PECVD ini dilengkapi dengan bekalan kuasa RF plasma, sistem pencampuran gas aliran jisim tiga hala (dengan julat 1-100 SCCM, 1-200 SCCM dan 1-200 SCCM), relau tiub terbuka berdiameter 60mm (dengan bebibir vakum dan paip penyambung), dan pam mekanikal.
Maklumat Produk
| Model Produk | Sistem Relau Tiub PECVD Gelongsor——OYS-1200C-II-60-PECVD (Φ60) |
| Parameter produk utama | Bekalan kuasa: 220V 50/60Hz; Kuasa undian: 3.1 kW; Suhu operasi maksimum: 1200°C (<0.5 j); Suhu operasi berterusan: ≤1100°C; Kadar pemanasan yang disyorkan: ≤10°C/min; Panjang zon pemanasan: 440mm; Termokopel: K-jenis |
| Ciri-ciri Utama | Bekalan kuasa RF boleh mencapai peningkatan plasma dan mengurangkan suhu eksperimen dengan ketara; kenaikan dan penurunan suhu yang cepat boleh dicapai dengan meluncurkan badan relau; tekanan filem boleh dikawal oleh kekerapan bekalan kuasa RF; stoikiometri boleh dikawal dengan pelarasan proses; pelbagai bahan seperti SiOx, SiNx, SiOxNy dan (a-Si:H) boleh didepositkan |
| Elemen pemanas | Dawai aloi besi-kromium-aluminium 0Cr21Al6Nb |
| Saiz tiub relau | Diameter tiub kuarza pilihan: Φ60 |
| Sistem kawalan suhu | Termasuk pengawal suhu YD858; Kawalan PID dan pelarasan penalaan kendiri, kawalan boleh atur cara 50-segmen pintar, dengan fungsi penggera suhu berlebihan dan keletihan; ketepatan kawalan suhu: ±1 ℃ |
| Bekalan kuasa RF plasma | Bekalan kuasa RF 300W; Kuasa keluaran: 0~300W boleh laras; Kekerapan RF: 13.56MHZ; Padanan automatik; Tahap hingar < 50dB; Kaedah penyejukan: Penyejukan udara; Voltan masukan: 180~250V |
| Antara muka bebibir pengedap vakum | Konfigurasi standard: sepasang bebibir vakum keluli tahan karat dan cincin pengedap silikon suhu tinggi; bebibir alur keluar ialah bebibir tiga port K16, KF25, dan Φ8.2; bebibir alur keluar boleh disambungkan ke penyesuai KF25 dengan belos dan kemudian ke pam vakum. |
| pam vakum | Mengamalkan pam vakum mekanikal ram putar berganda TRP-12; tahap vakum boleh mencapai 10-2torr; aksesori sambungan vakum dilengkapi dengan pengapit KF25 dan belos keluli tahan karat untuk menyambungkan relau tiub dan pam vakum |
| Sistem bekalan gas | Sistem pencampuran aliran jisim tiga hala - GYS-3Z; Bekalan kuasa: 220V 50/60Hz; Julat pengukur: 1-100 SCCM, 1-200 SCCM, 1-500 SCCM; Tolok tekanan mekanikal dipasang pada panel hadapan dan disambungkan ke paip pencampur; Julat tolok tekanan: -0.1-0.15MPa; Saiz tangki pencampuran: Φ80 * 120mm; Paip penyambung dalaman ialah Φ6.35 |
| Struktur relau | Badan relau boleh dialihkan ke kiri dan kanan, dan bekalan kuasa RF boleh dialihkan ke kiri dan kanan. Badan relau dan bekalan kuasa RF dipasang pada rel slaid yang sama dan menggunakan tiub kuarza yang sama. |
| Piawaian pensijilan dan komponen teras | Komponen teras keseluruhan mesin adalah mematuhi piawaian pensijilan CE, UL, MET dan lain-lain; komponen teras termasuk komponen elektrik ABB, wayar dan kabel yang diperakui UL, Omega, Yudian, instrumen Continental, dll. |
Hubungi Kami
Zhejiang Nengcheng Crystal Fiber Co., Ltd.
Zhejiang Nengcheng Crystal Fiber Co., Ltd. Ditubuhkan pada tahun 2015. Ia merupakan perusahaan profesional yang membangun dan menghasilkan bahan suhu tinggi penjimatan tenaga ultra ringan, dan menjual relau elektrik eksperimen, relau elektrik perindustrian, dan relau elektrik tersuai bukan standard. Profesional Sistem Relau PECVD Pengilang dan Sistem Relau PECVD Kilang. Syarikat ini berpegang teguh pada prinsip "kelangsungan hidup melalui kualiti, pembangunan melalui reputasi" dan menjunjung tinggi falsafah perniagaan "praktikal, integriti, dan kecekapan". Kami komited untuk menyediakan penyelesaian peralatan yang komprehensif dan berkualiti tinggi untuk pelanggan dalam industri seperti seramik, metalurgi, elektronik, kaca, dan kejuruteraan kimia. Kami juga menyediakan perkhidmatan seperti pemanggangan serbuk, pensinteran seramik, dan eksperimen suhu tinggi kepada universiti, institut penyelidikan, dan perusahaan perindustrian dan perlombongan. Pada masa yang sama, kami juga berusaha untuk mempromosikan pembangunan strategik gentian alumina suhu tinggi Nengcheng yang ringan, menjimatkan tenaga dan mesra alam dalam bidang relau baharu, dan berusaha untuk menjadi penyedia perkhidmatan industri peralatan suhu tinggi termaju yang terkemuka di peringkat antarabangsa. Sistem Relau PECVD Tersuai.
Berita Terkini
-
Pengenalan kepada Rawatan Haba Vakum Rawatan haba vakum ialah proses metalurgi termaju yang digunakan untuk meningkatkan sifat mekanikal dan ketahanan komponen industri. Dengan memanaskan bahan dalam persekitaran vakum, pengoksidaan dan pencemaran diminimumkan, menghasilkan prestasi bahan yang tepat dan konsisten. Teknik ini digunakan secara meluas dalam industri seperti aeroangkasa, automotif, pembuatan alat, dan elektronik. Kekuatan dan Kekerasan Bahan yang Dipertingkatkan ...
